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放电式臭氧发生器的研究，为了改善放电状况、提高放电效率,人们研究了如线状、刷状、螺线状、网状、水不同形式的电极。且放电形式局限于无声、脉冲流注、电晕、沿面、无声–沿面混合及辉光放电等形式。
无声放电(即介质阻挡放电)的电介质是无声放电臭氧发生器的重要组成，其作用为强化气隙的电场强度以利于产生放电；防止气隙击穿，同时减小功率消耗；使气隙的电场均匀，扩大放电区域，利于臭氧的产生。一般而言，电介质的介电系数越高，导热性能越好越利于产生臭氧。臭氧发生器所用的电介质主要有石英玻璃、陶瓷、搪瓷、有机材料等多种类型。

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